Los sistemas de plasma de baja presión son componentes de sistemas de vacío especializados que han sido diseñados, ensamblados y operados para el proceso específico de producir la composición química del plasma de manera segura y repetida.
Estos sistemas de plasma de baja presión ofrecen una amplia gama de opciones para la modificación de la superficie. Algunos ejemplos de esto serían la limpieza precisa de componentes contaminados, la activación por plasma de piezas de plástico, el grabado de materiales orgánicos o inorgánicos, la deposición por plasma, el recubrimiento de baja fricción y el recubrimiento de piezas de plástico con capas similares a PTFE (politetrafluoroetileno). Los sistemas de plasma de baja presión se utilizan en una gran variedad de industrias cuando se trata de combinar materiales o cambiar las características superficiales de los materiales industriales.
Control Cabinet:
W 310 mm H 330 mm D 420 mm
Chamber:
Ø 3.9 in, L 10.9 in
Chamber Volume:
2
Gas Supply:
1 gas channel via needle valve
Generator:
1 pc. with 40 kHz
(optional: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
Control:
Semi-Automatic
Control Cabinet:
W 560 mm H 600 mm D 600 mm
Chamber:
Ø 10.5 in, L 16.5 in
Chamber Volume:
24
Gas Supply:
2 gas channel via needle valve
Generator:
1 pc. with 40 kHz
(optional: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
Control:
Semi-Automatic
Control Cabinet:
W 600 mm H 1700 mm D 800 mm
Chamber:
W 12" x H 11.8" x D 14.6"
Chamber Volume:
30
Gas Supply:
Mass flow controllers
Generator:
1 pc. with 40 kHz
(optional: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
Control:
Touch Screen
Control Cabinet:
W 600 mm H 1700 mm D 800 mm
Chamber Volume:
15
Gas Supply:
Mass flow controllers
Generator:
1 pc. with 40 kHz
(optional: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
Control:
PC
Control Cabinet:
W 600 mm H 2100 mm D 800 mm
Chamber Volume:
575
Gas Supply:
Mass flow controllers
Generator:
1 pc. with 40 kHz
(optional: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
Control:
PC
Control Cabinet:
W 425 mm H 275 mm D 450 mm
Chamber:
Ø 8.3 in, L 11.8 in
Chamber Volume:
10.5
Gas Supply:
Mass flow controllers
Generator:
1 pc. with 40 kHz
(optional: 13.56 MHz)
Control:
Touch Screen
Control Cabinet:
W 870 mm, H (with feet) 1860 mm, D 1400 mm
Chamber:
∅ 640 mm, D 1000 mm
Chamber Volume:
320
Gas Supply:
2 - 6 MFCs
Generator:
80 kHz - 300 Watt
(13.56 MHz)
Control:
PC
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