La aplicación de grabado por plasma de un material con plasma gaseoso es un proceso exclusivo que convierte un sólido en gas para su eliminación. El grabado por plasma puede eliminar la necesidad de un grabado químico, el cual consume mucho tiempo y utiliza compuestos orgánicos volátiles (COV) y otras sustancias químicas peligrosas. Los materiales orgánicos e inorgánicos y los polímeros se graban fácilmente por plasma de oxígeno no corrosivo. Los materiales inorgánicos y metales más complejos se graban por plasma CF4 o plasma de una mezcla de gases similar.
El grabado por plasma es el proceso de convertir un sólido directamente en gas en un sistema de plasma de baja presión. Luego, este gas se bombea desde la cámara de vacío a una velocidad controlada para optimizar la uniformidad y otros parámetros del proceso. Todo el proceso de grabado se realiza sin que el material entre en contacto con el fluido.
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